제목 [정부과제제안서] 반도체 소모품 실증센터 구축사업
분류 성장동력산업 판매자 강정훈 조회수 33
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데이터날짜 : 2024-03-22 
출처 : 국책연구원 
페이지 수 :

 

연구개발

과제명

반도체 소모품 실증센터 구축

안전관리형 과제

X

개요 및

필요성

(개요) 글로벌 반도체 공급망 재편과 국가 간 경쟁 심화에 대응하기 위해 시제품제작, 시험테스트, 성능검증 등 소재부터 부품단위까지의 반도체 공정용 세라믹 소모품에 대한 전주기 실증지원을 통해 제품개발과 시장진입 지원

 

(필요성) 반도체 공정용 세라믹 소모품은 해외 선도기업과의 기술격차가 크고, 신뢰성을 인정받은 주요기업이 시장을 주도하고 있어 연구개발과 양산단계에서의 테스트 및 공정안정성 실증지원을 통한 핵심전략기술 확보가 필요

과제목표

(최종목표) 반도체 공정용 세라믹 소모품의 양산단계 실증테스트 지원을 위한 Test-Bed 기능의 기반구축을 진행하고, 기구축 인프라와 연계한 전주기 실증지원을 통해 시장선도 핵심기술 확보

 

구분

1단계 : 24~26(3)

2단계 : 27~28(2)

건축

- 부지 확보 및 설계

- 건축 진행 및 준공

센터운영

장비 구축

장비

- 성능검증(시험분석) 장비구축

  • 안정성(기초성능) 검증
  • 장비 구축 및 운영
  • (양산장비) 검증

가동률

- 60% 이상(최종연도 기준)

장비 운영

시험· 평가 등

  • 소모품 성능·양산 시험표준 절차서(Manual ) 10건 이상
  • ·양산 시험 표준화(성능, 안전성) 20건 이상

기타

  • 부품실증의 전주기 실증지원 체계구축
  • 위한 국내·외 인프라와 연계한 비즈니스 플랫폼 구축 10건 이상

 

(대상분야 및 범위)

- (반도체 공정용 세라믹 소모품) 반도체 공정장비 내 세라믹 소모성 부품으로 사용되는 있는 포커스링, 히터, 정전척(ESC), 쿼츠웨어, 서셉터 등에 대한 양산단계 실증테스트 지원

 


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