| 제목 | [정부과제제안서] 수소 라디칼을 포함하는 반도체 어닐링 공정 장비용 석영유리 대비 2배 이상 장수명 부품 기술개발 |
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| 분류 | 성장동력산업 | 판매자 | 안소영 | 조회수 | 230 | |
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| 용량 | 226.07KB | 필요한 K-데이터 | 5도토리 |
| 파일 이름 | 용량 | 잔여일 | 잔여횟수 | 상태 | 다운로드 |
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 [정부과제제안서] 수소 라디칼을 포함하는 반도체 어닐링 공정 장비용 석영유리 대비 2배 이상 장수명 부품 기술개발.pdf |
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| 데이터날짜 : | 2024-05-31 |
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| 출처 : | 국책연구원 |
| 페이지 수 : | 6 |
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