가. 정의 및 필요성
(1) 정의

☐ 디스플레이 산업 주요 공정(식각, 증착 등)에서 사용하고 배출되어 환경
에 영향을 미치는 고 GWP의 공정가스를 분해, 흡수 등 다양한 방법으
로 제거하여 해가 없는 가스로 처리하는 장치 및 연계된 시스템 분야

❍ Fab. 내부에서 공정가스를 1차 제거하는 POU 스크러버(Point Of Unit
Scrubber)와 POU 스크러버에서 처리 과정 중 발생하는 부산물을 2차 제거하
는 옥외 스크러버(House Scrubber)로 구분

❍ POU 스크러버는 연소식, 전열식, 플라즈마식, 촉매식 등이 주로 사용되며,
반도체‧디스플레이 부문의 국내 산업 총합 약 7,000~8,000대 운영 추정
- 현재는 연소식이나 전열식이 가장 많이 보급되어 있으나, 플라즈마식과 촉매식
의 보급이 점점 늘어나는 추세
- POU 스크러버에서는 CF4, C2F6, C3F8, NF3, SF6, CHF3, CH3F 등과 같은
PFCs와 SiH4, Si(OC2H5)4, SiF4, NH3, N2O, BCl3, PH3, TiCl4, ClF3, F2, HF 등과
같은 다양한 혼합가스를 분해하는 역할

❍ 옥외 스크러버는 주로 습식 방식이 적용되어 있으며, 분진, HF 등 산성가스,
NOx 등을 제거하는 역할
- 최근 사업장에서는 POU 스크러버와 옥외 스크러버의 구분 없이 공정가스 분
해 및 부산물 처리 기능을 통합하여 하나의 시스템으로 운영하는 방식도 요구

❍ 현재 디스플레이 배출제어 분야에서는 F-gas, N2O 등 배출 공정가스 분해제
거율(DRE, Decomposition and Removal Efficiency) 향상과 부산물로 발생하
는 NOx 등 대기오염물질 저감, 스크러버 운영 연료/에너지 절감 등이 주요
한 이슈로 친환경화 기술 개발 추진

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