가. 정의 및 필요성
(1) 정의

☐ 디스플레이 패널 제작 시 대면적 유리 기판에 얇은 박막을 균일하게 형
성하는 것으로 일반적으로 진공상태에서 화학적 또는 물리적으로 박막
을 증착하는 장비 (CVD, SPT, ALD, EVP 등의 장비)

❍ OLED가 빼어난 색과 화질을 보여주는 이유는 디스플레이가 자체발광하는
이유가 가장 크며 디스플레이 화면이 자체발광한다는 뜻은 빛과 색을 표현
하는 픽셀(Pixel)들이 스스로 빛을 낸다는 의미
- LCD와 같이 백라이트(Backlight)를 사용해 외부의 광원으로부터 빛을 받아 컬
러필터(Color Filter)를 거쳐 색을 내는 수광형 방식과 대조적인 개념

❍ 디스플레이에서는 픽셀을 형성하는 방법은 컬러 패터닝(Color Pattering)이며
색의 3원색인 빨강, 초록, 파랑의 서브픽셀(Sub Pixel, 보통 3개의 서브픽셀
이 모여 1개의 픽셀을 구성)들을 한 치의 오차 없이 패터닝해야 원하는 화
면을 디스플레이에서 정확하게 구현 가능

❍ 업계는 자체발광 OLED 픽셀을 만들기 위해 여러 가지 방법을 시도하고 있
지만 현재까지 양산을 위해 가장 보편적으로 사용되는 방법은 '증착’
- 이는 마이크로 단위의 OLED 미세공정에서 정밀하고 불순물이 없이 대량으
로 컬러 패터닝을 할 수 있는 방법은 현재로서는 증착이 유일

❍ 증착(Evaporation)은 OLED의 핵심공정 가운데 하나로, OLED 제조 과정을
크게 5단계로 나누어 봤을 때 두 번째 단계에 해당
- [LTPS] → [증착(Evaporation)] → [봉지(Encapsulation)] → [셀(Cell)] → [모
듈(Module)]
- LTPS(저온폴리실리콘)가 빛을 내는 각각의 픽셀들을 컨트롤 하는 역할을
한다면, 증착 공정은 빛과 색을 내는 자체발광 픽셀 그 자체를 만드는 작업

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