가. 정의 및 필요성
(1) 정의

☐ 배출제어시스템은 반도체 메인 공정(식각, 증착, 세정) 후단에서 배출되는
불소계 온실가스 등을 제거하기 위하여 도입되는 설비로 스크러버, RPS,
PPS 등을 통하여 배출되는 온실가스를 최대한 제거하기 위한 시스템

❍ 반도체 공정 중 식각, 증착 및 세정에 활용되고 있는 공정가스의 배출량
정량측정 시스템 개발을 통하여 현재 공정에서의 온실가스 배출량을 정량 평가

❍ 탄소중립 기술개발을 통하여 도입 예정인 GWP가 낮은 대체가스에 대한 공
정 사용에 따른 온실가스 배출량 평가 및 배출제어 기술에 따른 온실가스
감축량 평가를 수행

❍ 특히, 대체가스에 따른 온실가스 감축 정량 분석을 제공하고, 공정 중 발생
되는 부생가스에 대한 GWP 평가를 통하여 전공정에서의 Net-온실가스 배
출량을 평가할 수 있는 시스템

☐ 배출가스 처리 장치는 제해 장치, 스크러버라고 불리며 제조 공정에서
사용되는 다양한 가스를 무해화하여 안전하게 배출하기 위한 처리 장치

❍ 배출되는 가스 종류와 가스량에 따라 연소식, 습식, 건식, 촉매식 등의 처리
방법이 사용됩니다. 반도체 제조를 비롯한 전자 기기 산업 외에 화학 공장,
도금 및 도장 공정, 에어컨의 냉매 분해 등 다양한 분양에서 활용

❍ 스크러버는 반도체 공정 중 발생하는 온실가스 및 유해가스를 정화하는
장비이며, 가스 스크러버 (Gas Scrubber) 또는 배기 스크러버 (Exhaust
Scrubber)로 분류
- 반도체의 식각, 증착, 세정 등의 공정에서는 과불화합물 (Perfluorinated
Compounds, PFCs)이라는 혼합 폐가스를 사용하게되며 이는 온실가스와 유해
오염물질로 구성

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