제목 | [정부과제제안서] 반도체 소모품 실증센터 구축사업 |
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분류 | 성장동력산업 | 판매자 | 강정훈 | 조회수 | 43 | |
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용량 | 191.5KB | 필요한 K-데이터 | 3도토리 |
파일 이름 | 용량 | 잔여일 | 잔여횟수 | 상태 | 다운로드 |
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[정부과제제안서] 반도체 소모품 실증센터 구축사업.hwp | 191.5KB | - | - | - | 다운로드 |
데이터날짜 : | 2024-03-22 |
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출처 : | 국책연구원 |
페이지 수 : | 2 |
연구개발 과제명 |
반도체 소모품 실증센터 구축 |
안전관리형 과제 |
X |
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개요 및 필요성 |
ㅇ (개요) 글로벌 반도체 공급망 재편과 국가 간 경쟁 심화에 대응하기 위해 시제품제작, 시험테스트, 성능검증 등 소재부터 부품단위까지의 반도체 공정용 세라믹 소모품에 대한 전주기 실증지원을 통해 제품개발과 시장진입 지원
ㅇ (필요성) 반도체 공정용 세라믹 소모품은 해외 선도기업과의 기술격차가 크고, 신뢰성을 인정받은 주요기업이 시장을 주도하고 있어 연구개발과 양산단계에서의 테스트 및 공정안정성 실증지원을 통한 핵심전략기술 확보가 필요 |
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과제목표 |
ㅇ (최종목표) 반도체 공정용 세라믹 소모품의 양산단계 실증테스트 지원을 위한 Test-Bed 기능의 기반구축을 진행하고, 기구축 인프라와 연계한 전주기 실증지원을 통해 시장선도 핵심기술 확보
ㅇ (대상분야 및 범위) - (반도체 공정용 세라믹 소모품) 반도체 공정장비 내 세라믹 소모성 부품으로 사용되는 있는 포커스링, 히터, 정전척(ESC), 쿼츠웨어, 서셉터 등에 대한 양산단계 실증테스트 지원 |
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