1. 용역명 : NA0.9 대물렌즈 공차해석 연구

2. 배경 및 목적

• 회절한계는 광파의 파장에 비례하고, 수치구경(NA)에 반비례함

• 공정이나 우주용 광학계들은 가능한 짧은 파장에서 가능한 높은 NA를 요구하고 있음

• 과학기술 수준에서 달성할 수 있는 최선의 선택이 NA 0.9 수준의 자외선 고해상도 광학계임

• 광학계는 이론적 한계에 근접한 성능을 목표로 하고 있어서 설계가 매우 까다롭고 실제 제작과 조립의 공정에서도 현재의 기술수준에서 달성가능한 최고의 정밀도를 요구받고 있어 공차해석 연구가 반드시 필요함

3. 기간 및 예산

• : 계약일로부터 150일 이내

• : 30,000,000원 이하(부가가치세 포함)

4. 주요내용

• 검증

- 광학설계의 설계 성능 분석

• , 조립, 평가 전략 수립

- 광학계의 구조, 조리개 위치, 광학요소의 역할등을 고려하여 전체광학계를 분해하고 제작과 조립 순서 결정

• 및 검증

- 민감도를 분석하는 Code V macro를 개발하고 공차 할당