| 제목 | [정부과제제안서] 첨단나노소재 - CNT 프리스탠딩 멤브레인 펠리클 기술 개발 |
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| 분류 | 성장동력산업 | 판매자 | 이지훈 | 조회수 | 53 | |
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| 용량 | 128.5KB | 필요한 K-데이터 | 5도토리 |
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 [RFP] 첨단나노소재 - CNT 프리스탠딩 멤브레인 펠리클 기술 개발.hwp |
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| 데이터날짜 : | 2024-01-17 |
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| 출처 : | 국책연구원 |
| 페이지 수 : | 16 |
1. 개념 및 개발내용
□ 개념
ㅇ EUV 펠리클은 반도체 웨이퍼 노광공정 중에 회로 원판으로 사용되는 마스크(=Reticle)를 장비 내부 오염으로부터 보호하는 부품으로, 단일벽 탄소나노튜브(SWCNT) 소재를 코어로 수십 나노미터 두께의 오염 차단막(멤브레인) 형성기술
□ 개발내용
ㅇ EUV 고투과 SWCNT 프리스탠딩 멤브레인 제조기술 개발
ㅇ SWCNT 멤브레인 EUV 투과균일도 제어를 위한 면적 density 제어기술 개발
ㅇ 10 nm 이하 두께의 금속성 탄화물 소재 결정화 기술 개발
ㅇ 금속성 탄화물 코팅두께 제어 및 EUV 투과도, 투과 균일도 확보
ㅇ 금속성 탄화물 코팅 멤브레인 부품 평가 및 실증 프로세스 확립
※ 총괄과제 역할 및 기능
- 세부과제 종합관리 및 사업추진 방향 조정
- 연구개발을 통해 획득된 유무형의 성과물 관리, 사업화 전략 수립 지원
- 사업성과(실적) 관리 및 보고 총괄 등
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