제목 [정부과제제안서] 첨단나노소재 - CNT 프리스탠딩 멤브레인 펠리클 기술 개발
분류 성장동력산업 판매자 이지훈 조회수 54
용량 128.5KB 필요한 K-데이터 5도토리
파일 이름 용량 잔여일 잔여횟수 상태 다운로드
[RFP] 첨단나노소재 - CNT 프리스탠딩 멤브레인 펠리클 기술 개발.hwp 128.5KB - - - 다운로드
데이터날짜 : 2024-01-17 
출처 : 국책연구원 
페이지 수 : 16 

1. 개념 및 개발내용

 

개념

 

EUV 펠리클은 반도체 웨이퍼 노광공정 중에 회로 원판으로 사용되는 마스크(=Reticle)를 장비 내부 오염으로부터 보호하는 부품으로, 단일벽 탄소나노튜브(SWCNT) 소재를 코어로 수십 나노미터 두께의 오염 차단막(멤브레인) 형성기술

 

개발내용

 

EUV 고투과 SWCNT 프리스탠딩 멤브레인 제조기술 개발

SWCNT 멤브레인 EUV 투과균일도 제어를 위한 면적 density 제어기술 개발

10 nm 이하 두께의 금속성 탄화물 소재 결정화 기술 개발

ㅇ 금속성 탄화물 코팅두께 제어 및 EUV 투과도, 투과 균일도 확보

ㅇ 금속성 탄화물 코팅 멤브레인 부품 평가 및 실증 프로세스 확립

 

총괄과제 역할 및 기능

- 세부과제 종합관리 및 사업추진 방향 조정

- 연구개발을 통해 획득된 유무형의 성과물 관리, 사업화 전략 수립 지원

- 사업성과(실적) 관리 및 보고 총괄 등

 


※ 본 서비스에서 제공되는 각 저작물의 저작권은 자료제공사에 있으며 각 저작물의 견해와 DATA 365와는 견해가 다를 수 있습니다.

List of Articles
번호 분류 제목 K-데이터 판매자
K데이터 무통장 입금을 통한 충전 방법
6716 성장동력산업 [정부과제제안서] 전기수소차 - 목적기반 전기차 플랫폼 및 서비스 기술 3도토리 이지훈
6715 성장동력산업 [정부과제제안서] 전기수소차 - 다목적 철도 구동 플랫폼 구동 시스템 기술 3도토리 이지훈
6714 성장동력산업 [정부과제제안서] 전기수소차 - 기능통합 e-파워트레인 기술 3도토리 이지훈
6713 성장동력산업 [정부과제제안서] 전기수소차 - 급속 무선 충전 시스템 기술 3도토리 이지훈
6712 성장동력산업 [정부과제제안서] 전기수소차 - 글로벌 환경규제 대응 기술 3도토리 이지훈
6711 성장동력산업 [정부과제제안서] 전기수소차 - 고효율 통합 열관리 시스템 기술 3도토리 이지훈
6710 성장동력산업 [정부과제제안서] 전기수소차 - 고축하중 통합 전동액슬시스템 기술 3도토리 이지훈
6709 성장동력산업 [정부과제제안서] 전기수소차 - 고전압·고출력 전기구동시스템 기술 3도토리 이지훈
6708 성장동력산업 [정부과제제안서] 전기수소차 - 고인성 차체 요소 부품 기술 3도토리 이지훈
6707 성장동력산업 [정부과제제안서] 전기수소차 - 고압 기체수소 저장시스템 기술 3도토리 이지훈
6706 성장동력산업 [정부과제제안서] 전기수소차 - 고성능 전력변환장치 요소부품 기술 3도토리 이지훈
6705 성장동력산업 [정부과제제안서] 전기수소차 - NVH 제어기술 3도토리 이지훈
6704 성장동력산업 [정부과제제안서] 전기수소차 - GaN 전력모듈 적용 전기자동차 구동용 인버터 고도화 기술 3도토리 이지훈
6703 성장동력산업 [정부과제제안서] 전기수소차 - BMS 고도화 기술 3도토리 이지훈
» 성장동력산업 [정부과제제안서] 첨단나노소재 - CNT 프리스탠딩 멤브레인 펠리클 기술 개발 5도토리 이지훈
6701 성장동력산업 [정부과제제안서] K-Carbon 플래그십기술 개발사업 7도토리 이지훈
6700 성장동력산업 [정부과제제안서] 국가로봇테스트필드사업 기획과제 5도토리 이지훈
6699 성장동력산업 [정부과제제안서] 고강성·비정형 스프링 생산용 지능형 냉간 코일링 시스템 개발 5도토리 정한솔
6698 성장동력산업 [정부과제제안서] 초고해상도 반도체 공정용 촉매 소재 및 적용 기술 개발 5도토리 정한솔
6697 성장동력산업 [정부과제제안서] 탄소중립 달성을 위한 철강분야 핵심요소기술 개발 7도토리 정한솔