제목 [정부과제제안서] 첨단나노소재 - CNT 프리스탠딩 멤브레인 펠리클 기술 개발
분류 성장동력산업 판매자 이지훈 조회수 53
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데이터날짜 : 2024-01-17 
출처 : 국책연구원 
페이지 수 : 16 

1. 개념 및 개발내용

 

개념

 

EUV 펠리클은 반도체 웨이퍼 노광공정 중에 회로 원판으로 사용되는 마스크(=Reticle)를 장비 내부 오염으로부터 보호하는 부품으로, 단일벽 탄소나노튜브(SWCNT) 소재를 코어로 수십 나노미터 두께의 오염 차단막(멤브레인) 형성기술

 

개발내용

 

EUV 고투과 SWCNT 프리스탠딩 멤브레인 제조기술 개발

SWCNT 멤브레인 EUV 투과균일도 제어를 위한 면적 density 제어기술 개발

10 nm 이하 두께의 금속성 탄화물 소재 결정화 기술 개발

ㅇ 금속성 탄화물 코팅두께 제어 및 EUV 투과도, 투과 균일도 확보

ㅇ 금속성 탄화물 코팅 멤브레인 부품 평가 및 실증 프로세스 확립

 

총괄과제 역할 및 기능

- 세부과제 종합관리 및 사업추진 방향 조정

- 연구개발을 통해 획득된 유무형의 성과물 관리, 사업화 전략 수립 지원

- 사업성과(실적) 관리 및 보고 총괄 등

 


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