제목 [정부과제제안서] 극미세 공정용 세라믹 광학소재부품기술 개발사업 기획연구
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2. 극미세 공정용 세라믹 광학소재부품기술 개발사업 기획연구.hwp 67KB - - - 다운로드
데이터날짜 : 2023-01-17 
출처 : 국책연구원 
페이지 수 :

 

1. 연구기획 목표

 

 

극미세 반도체 공정용 자외선 광학 세라믹 소재부품의 내재화 및 기술경쟁력 강화를 위한 국내기술 확보 및 공급망 구축에 대한 연구개발 사업의 기획

 

반도체 공정 핵심기술 자립화를 위한 극미세 공정용 광학소재부품 기술동향에서 초격차 반도체산업 밸류체인으로 이어지는 산업동향 및 파급효과 제시

 

 

2. 연구기획 필요성

 

 

ㅇ 반도체 EUV 노광장비용 핵심 광소재·부품 해외수입 의존 및 기술 종속 탈피 필요

 

EUV 반도체 세계시장 호황으로 전 세계적으로 반도체장비 품귀현상 발생 미래 공급망 내재화 필요

 

국가간 기술 패권 경쟁으로 국가안보에 직결되는 핵심품목 확보 필요



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