| 제목 | [정부과제제안서] 공정 및 잔류 가스 모니터링 기술 및 공정효율화 시스템 개발 |
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| 분류 | 성장동력산업 | 판매자 | 정한솔 | 조회수 | 37 | |
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| 용량 | 107.5KB | 필요한 K-데이터 | 3도토리 |
| 파일 이름 | 용량 | 잔여일 | 잔여횟수 | 상태 | 다운로드 |
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 (일반02) 디스플레이용 고GWP 가스 20_ 이상 저감을 위한 공정 및 잔류 가스 모니터링 기술 및 공정효율화 시스템 개발.hwp |
107.5KB | - | - | - | 다운로드 |
| 데이터날짜 : | 2023-03-03 |
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| 출처 : | 국책연구원 |
| 페이지 수 : | 4 |
ㅇ 모니터링 및 공정효율화 기술 개념 및 정의
- (모니터링 기술) 반도체·디스플레이 제조공정에서 미반응되어 배출되는 GWP가스의 양을 정확하게 모니터링하여 투입 및 배출되는 GWP 가스의 양을 최적화 하는 기술
* 디스플레이 공정의 경우, 세정공정에서 77% 정도, 식각 공정에서 23% 정도 사용되지 못하고 배출
- (공정효율화 기술) 동일한 공정결과를 감축된 공정가스로 실현하는 제조 기술
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