| 제목 | [정부과제제안서] 배출가스 모니터링 및 온실가스 배출량 모의분석 기술 개발 |
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| 분류 | 성장동력산업 | 판매자 | 정한솔 | 조회수 | 43 | |
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| 용량 | 129.5KB | 필요한 K-데이터 | 3도토리 |
| 파일 이름 | 용량 | 잔여일 | 잔여횟수 | 상태 | 다운로드 |
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 (일반01) 식각·증착·세정활용 공정가스 사용 최적화를 위한 배출가스 모니터링 및 온실가스 배출량 모의분석 기술 개발.hwp |
129.5KB | - | - | - | 다운로드 |
| 데이터날짜 : | 2023-01-02 |
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| 출처 : | 국책연구원 |
| 페이지 수 : | 5 |
ㅇ 저 GWP 대체가스가 적용된 반도체 식각·증착·세정공정 및 배출제어 시스템에서 공정가스 사용에 따른 탄소중립 기여를 위해 가스분해종을 고려한 공정가스 사용량 기반의 온실가스 배출량 측정기술과 실배출량 측정을 통한 온실가스 배출량 분석기술을 개발하고, 이를 위한 배출가스 모니터링 기술을 개발
ㅇ 반도체 공정에 적용되고 다양한 공정가스 및 이를 통해 발생되는 가스분해종에 대한 온실가스 배출량을 평가하고, 평가결과를 신속하게 대체가스 개발업체에 제공하여 대체가스 개발을 위한 기초자료로 활용되어야 함. (배출량 신속측정 기술개발을 위한 GWP 인증소급성은 타과제와의 연계)
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