전략품목 정의 및 범위

▪ 디스플레이 기판 생산 중에 발생하는 미세한 이물질(Dust)을 제거하기 위한 건식 세정 방식으로써, 레이저 광원에서 발생하는 강한 에너지에 의한 기판에 융착된 이물질을 기화 또는 이탈 가능하게 하는 레이저 시스템

전략품목 관련 동향

◎ 시장전망 및 제품 동향

Ÿ (시장전망) `21년 43억 달러였던 세계 레이저 가공 장비 시장 규모는 `26년 62억 5,800만 달러로 증가할 것으로 전망되며, 국내시장은 `21년 4541억 8,800만 원에서 ‘26년 6,490억 1,800만 원으로 증가할 것으로 전망됨

Ÿ (제품동향) 전방산업인 디스플레이 산업에 영향을 많이 받는 산업으로, 현재 디스플레이 중심축이 LCD에서 차세대 디스플레이인 OLED로 넘어감과 함께 해당 패널을 제조하는 장비에 대한 수요가 증가하면서 디스플레이 세정 시스템 산업 또한 고도화중

◎ 기술개발 및 플레이어 동향

Ÿ (기술동향) 디스플레이 산업에서 제품의 정밀화가 요구됨에 따라 이에 대응하기 위한 다양한 세정기술이 요구되고 있으며, 환경 규제 강화로 인한 친환경 세정 방법의 수요로 인해 습식 세정 공정을 대체할 수 있는 세정기술 필요함. 이에 맞춰 연구소 등에서 다양한 공정 연구가 수행되고 있으나, 실제 기술의 도입은 미미한 실정

Ÿ (플레이어) Trumpf(독일), Scanlab(독일), Clean laser system(독일), Advanced Laser Technology(미국), JEZ-laserclean(중국), Hitachi High-Tech(일본), LaserAX(미국), 디엠에스(한국)

Ÿ (중소기업) 디바이스이엔지, 아이엠티, 유니팩, 에이아이코리아, 씨티에스, 알파글로벌

◎ 핵심기술

Ÿ 클리닝 속도 고속화

Ÿ 표면 형태에 따른 레이저 조사 방향 조절 방법

Ÿ 레이저광 에너지 보정 Ÿ 레이저 펄스 조절 방법

Ÿ 건식 레이저 세정 시 손상 최소화 방법

Ÿ 플라즈마를 포함하는 레이저 세정 방법