◎ 정의

플렉시블 OLED 패널에서 진행하는 봉지 공정의 소재 및 장비를 칭하며, 봉지공정은 OLED의 유기물질에 산소와 수분을 차단하기 위한 공정을 의미함

◎ 필요성

일반 OLED (Rigid OLED)의 경우 Glass를 기판으로 사용하므로 봉지 공정 역시 증착이 완료된 LTPS 기판 위에 Glass를 사용하여 덮고, 테두리 부분에 Seal을 발라 합착하여 산소와 수분이 들어오지 못하도록 밀봉

그런데 플렉시블 OLED는 패널이 휘어져야 하기 때문에 Glass 대신 유연한 폴리이미드 소재의 기판을 사용

따라서 봉지 공정 역시 일반 OLED와는 달리 유연성을 갖도록 제작해야 하며, 이를 위해 진행하는 것이 바로 박막봉지임

AMOLED 박막봉지 기술이란 플렉시블 AMOLED 소자 제조를 위한 박막봉지 제조 공정에 있어서, 전체 봉지막 구조가 수십 ㎛ 이하의 박막으로 구성되어 휘어짐이 가능하면서도 투습방지 효과가 있는 봉지 기술을 말함

▪현재 적용되고 있는 AMOLED 박막봉지 공정은 CMC 구조라 표현되고 있으며, C는 CVD, M은 monomer의 약어로써, PECVD 장비를 이용하여 진공 분위기에서 증착된 SiNx 또는 SiON 박막을 C로 표현하며, 잉크젯 프린터 장비를 이용하여 대기압 분위기에서 형성된 폴리머(모노머막에 UV를 조사하여 폴리머로 변환)막을 M으로 표현하고 있고, 더불어 C는 무기막이고 M은 유기막으로써 유무기 3층 구조로 박막봉지층이 형성됨

▪PECVD에 의한 무기막은 0.5~1㎛ 의 두께로 형성되고, 잉크젯 프린팅에 의한 유기막은 8~12㎛ 정도의 두께로 형성되는데, 갤럭시 Edge 모델과 같은 curved 디스플레이 소자의 제조에는 충분하나 지속적인 반복굽힘 동작이 요구되는 폴더블 디스플레이 소자로의 적용에는 한계가 있음