제목 [시장분석] 그린에너지 분야_ 태양전지용 CVD 장치 시장분석
분류 성장동력산업 판매자 강정훈 조회수 277
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데이터날짜 : 2023-01-11 
출처 : 국책연구원 
페이지 수 : 38 

 

 

CVD(Chemical Vapor Deposition, 화학 기상 증착)란 기체 또는 증기 상의 원료를 이용하여 고체 박막을 증착하는 공정기법 또는 해당 공정을 수행하는 장비기술을 지칭함

 

CVD는 기본적으로 반도체 공정 중 박막 증착 공정의 일종으로 개발되었으며 이후 디스플레이, LED 및 태양광 공정으로 파급되었음

▪CVD를 이용하여 다양한 유전체(Dielectrics), 도체(Conductor) 및 반도체(Semiconductor) 재료를 합성 가능하며 합성한 재료를 전자소자의 요소 또는 소자의 보호층 등으로 다양하게 활용 가능함

 

태양전지용 CVD는 반도체용 CVD 기술에서 파생되어 고수율, 고생산성 및 비용효율 등의 공정 인자를 핵심 요소로 발전하고 있음

▪태양전지 공정은 반도체 공정에 뿌리를 두고 고정밀/고집적의 현대 반도체 공정과 대면적, 고수율 및 비용효율 중시의 태양전지 공정으로 각각 발전하였으며, 현대 반도체 집적회로 공정과 현대 고효율 태양전지의 공정 변화에 따라 2010년대 이후 독립적인 태양광 공정으로 진화하였음

화면 캡처 2023-02-07 142309.png



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