[ 목 차 ]

1. 개요
2. 산업 분석
3. 기술 개발 동향
4. 주요 플레이어 특허동향
5. 전략제품 기술 개발 전략
 

1. 개요 가. 정의 퍀 디스플레이 증착공정은 반도체 제조공정과 거의 동일한 과정으로 물리적 기상증착 와 , (PVD) 화학적 기상증착 로 나눌 수 있음(CVD) ▪물리적 기상증착은 스퍼터링과 증발법으로 분류되며 스퍼터링 방식은 대부분 금속 물질을 증착하므로 , 박막증착에 많이 쓰이는 방법 중 하나임 ▪증발방식은 반응로 안을 높은 진공으로 유지하거나 박막을 입힌 물질을 가열 혹은 진공과 가열 두 , 가지를 동시에 이용하여 박막 물질을 기상으로 만들어 입히는 방법 퍀 디스플레이 식각공정은 기판 위에 미세회로를 형성하는 과정으로 금속 혹은 절연물 박막 , 위로 패턴을 전사하는 과정으로 그 방식에 따라 액체를 사용하는 습식 식각 과 (Wet etching) 건식식각 으로 나눌 수 있음(Dry etching) ▪습식식각은 기판을 반응 용약에 담근 후 박막이 화학작용이나 용해되어 제거하는 방법 ▪건식식각은 활성기체와 박막 물질과의 화학 반응에 의하여 박막 물질을 제거하는 방법과 박막 물질을 물리적 이온 충격으로 파괴하여 제거하는 방법 등이 있음 전자부품장비에서 디스플레이용 증착 및 식각 장치 및 부품 [ ] 출처 한국디스플레이산업협회 디스플레이* : KDIA( ), LG 8. 디스플레이용 증착 및 식각 장치 및 부품 - 4 - 나. 필요성 퍀 디스플레이 증착 및 식각 장치 및 부품분야는 디스플레이 초고정세화 대형화 추세에 따른 , 핵심 공정으로 고출력 제너레이터를 통한 대형 기판용 플라즈마 구현 등 핵심 부품에 RF 대한 국산화가 매우 절실함 ▪증착 및 식각 장치의 주요핵심 부품은 일본 등 대부분 해외에 의존하고 있으며 특히 FMM, LM 가이드 등은 일본에 전적으로 하고 의존하고 있음 ▪최근 고출력 개발 요구 증대 대용량의 리모트 플라즈마 클리닝 소소 및 제너레이터 개발에 Matcher , 대한 기술개발 요구가 증대되고 있음 다. 범위 및 분류 (1) 가치사슬 및 용도별 분류 ◎ 가치사슬 퍀 디스플레이용 증착 및 식각 장치 및 부품 산업을 기준으로 전방산업은 디스플레이 패널 제조 산업과 전자제품 완성품 산업이 해당하며 후방산업은 관련 소재 및 부품 산업으로 형성됨, 국내 소재 장비 업계는 지속적인 국산화 노력을 통해 성장해왔으나 핵심분야의 소재 장비 , ・ ・퍀 기술력이 미진하여 부가가치 해외 유출 지속1) 국산화율 장비 소재 부품(%): ( ) LCD 71, OLED 56, ( ) 57 ・▪ ▪기술경쟁력도 일본 대비 상대적으로 취약하며 부품 장비 국내 패널업체도 (100%) ( 85%, 90%), 핵심 공정에는 검증된 국외 장비를 우선 도입 국내 산업은 생산액 규모에서 세계 위 수준으로 중요 산업이나 중소 중견 기업 중심의 PCB 3 , ・퍀 영세한 수준2) ▪기존의 시장의 정체로 년 이후 침체기 진행 중 의 개발 성공으로 Rigid PCB 2014 , Rigid-Flex PCB 년 일시적인 회복기를 거쳤으나 가격경쟁력 확보 실패로 다시 정체기 진입2017 , 퍀 은 중소형 디스플레이 제조 시에 적용되며 대형패널 제조 시에는 오픈 마스크가 FMM OLED , 적용됨