[ 목 차 ]

1. 개요
2. 산업 분석
3. 기술 개발 동향
4. 주요 플레이어 특허 동향
5. 전략제품 기술 개발 전략

1. 개요 가. 정의 퍀 공업용 순수 일명 고순도 공업용수 는 순수보다 불순물이 더 적은 물로 전기전도도 미립자수( ) , , 생균수 등을 극히 낮은 수준으로 억제하여 이론 순수에 근접시킨 고순도의 물로 일반적으로 비저항이 이상인 공업용 물10.0 cm ㏁․ 퍀 공업용 순수 생산 핵심소재 장치는 정밀여과 및 역삼투막공정 배관 등/ , (PVDF ), 총유기탄소 측정기 및 부품 비저항 측정기 및 부품 등을 포함(TOC) , 퍀 최근 요구되는 공업용수는 아래 표에 제시된 바와 같이 일반적인 정수장 정수에 비해 높은 순도의 수질을 요구하고 있음 용수별 요구수질 현황 [ ] 구분 하천수 공업용수 상수도 (공업용) 순수 탁도 도( ) 수천10~ 10~15 도2 - 비저항( . ) ㏁ ㎝ 0.001~0.01 0.001~0.01 0.002~0.02 <10 미립자 개( / ) ㎖ 측정불능 측정불능 수천 수만 개~ 수백 개 생균수 개( / ) ㎖ 측정불능 측정불능 수십 개 수 개 유기물(ppm) 이상15 1~15 1~5 < 0.1 출처 반도체용 초순수 생산기술 국산화 및 경쟁력 확보 국회토론회 발표자료 * : K-water, (2019) 고순도 공업용수 공정도[ (SEMI F061) ] 출처 반도체 공정에서 사용되는 초순수 시스템 가이드 * : SEMI, SEMI-F061, (2017) 11. 공업용 순수 생산 핵심소재/장치 - 2 - 나. 필요성 ◎ 일본의 수출규제 퍀 최근 미 중 무역 분쟁과 보호무역주의 확대 및 일본의 한국 수출규제는 중심의 자유 - WTO 對 무역질서에 대한 위협 가능성 시사하며 글로벌 가치사슬 에 따른 국제적 , (Value chain) 분업의 중요성을 무시하고 나아가 국제정세 변화에 대한 위기관리 능력의 필요성이 대두됨 퍀 이번 일본 정부의 반도체 소재 수출규제 및 백색국가 제외는 수요기업의 공급처 관리를 넘어 경제 안보차원에서 근본적 문제해결을 위한 전략적 변화가 요구되며 일본은 , 반도체 디스플레이 분야 개 품목에 대한 한국 수출규제 뿐 아니라 한국을 백색 3 ( ‧ 對 ‘19.7.4) 국가에서 배제함 결정 시행(‘19.8.2 8.28 ) → 퍀 를 통한 대외의존도 극복 및 글로벌 경쟁력 제고로 미래의 불확실성에 대비하고 지R&D , 속가능한 국가 성장기반 확충 필요 ▪국내 고순도 공업용수 공정의 대부분은 일본 설계사에서 제시 및 보증하는 시설로 도입되고 대부분 , 운영은 자체 사업장 인력이 수행하므로 상대적으로 기술에 대한 정보가 차단되어 있음 ▪이에 따라 고유의 운영기술을 확보하고 일본기술을 극복하기 위한 높은 기술력 확보를 위해 대규모 , 자본이 투입되어 국산화 기술 개발이 추진되어야 함 퍀 향후 국가 물 산업 시장 확대를 위해 현재까지 기술이 일본 종속적인 고순도 공업용수 시장의 국내 수처리 기업의 진입이 요구되며 이를 위해 기존 고순도 공업용수 공정의 설계 능력 및 , 일본 대비 우월한 고순도 공업용수 공정 운영기술의 개발이 필요함 ◎ 핵심부품 국산화 지원 시급 퍀 고순도 공업용수는 전처리공정 순수공정 고순도 공업용수 공정으로 구성이 되어 있으며 비저항, , , , 보론 실리카 온도 등을 온라인 모니터링을 통해 관리 중임TOC, , DO, , ▪수질관리를 위한 계측기는 외산 제품을 사용 중으로 이 중 국내에서 국산화를 추진중인 100% 계측기는 계측기가 유일하며 단 계측기의 적용 가능한 공정은 순수 급으로 초순수에서 TOC , TOC 요구하는 이하의 수준은 국산화 필요함1ppb 퍀 공업용 순수 생산을 위한 핵심소재 장치는 광범위하여 구체화가 필요함 / ▪산자부는 반도체용 초순수 생산 핵심소재 국산화로 초순수용 한외여과막 및 (Final UF) 전기탈이온장치 를 개발 중이며 환경부는 자외선산화공정 막탈기공정 국산화를 (EDI) (TOC-UV), (MDG) 추진 예정 ▪중기부에서 중소기업의 지원 측면에서 산자부 환경부와 중복되지 않는 핵심공정으로 구체화하여 , 추진이 필요함 초순수용 이온교환수지 배관 등 자동밸브 등( , (PVDF ), ) ▪열교환기 등의 핵심소재 장치 국산화 추진이 필요할 것으로 예상되며 특히 일부 열교환기 텅스텐 및 / ( ) 자동밸브 불소계열 는 전략물자로 포함되어 있어 국산화 기술개발이 시급한 실정임