[ 목 차 ]

1. 개요

2. 산업 및 시장 분석

3. 기술 개발 동향

4. 특허 동향

5. 요소기술 도출

6. 전략제품 기술로드맵

1. 개요 가. 정의 및 필요성 (1) 정의  미세전자기계시스템(MEMS: MicroElectroMechanical Systems)기술은 반도체기술을 활용하여 초미세 센서 및 엑츄에이터 등을 제작하여 압력, 온도, 진동, 환경, 생체 등 다양한 분야에 적용되고 있는 공통 플랫폼 기술로 미세전자기계시스템은 사물의 데이터를 검출하는 센서와 엑츄에이터, 미세 구조체 등이 LSI칩 위에 형성된 시스템으로서, 센서데이터 입력/출력 혹은 통신 등의 중요한 복합 기능을 보유하고 있는 고부가가치를 창출하는 분야로서 반도체기술을 활용하여 초미세센서 및 엑츄에이터 등을 제작하는 공통 플랫폼 기술을 의미함 ▪ 소비자 전자 제품은 설계에 다양한 자이로스코프, 가속계 및 기타 다양한 센서 사용, 지문인식, 얼굴인식, 피트니스 트래커 등 다양한 쓰임으로 적용 ▪ 미세전자기계시스템은 초미세센서, 초소형엑츄에이터, 초미세 구조로 구성된 시스템으로서 스마트 제조 생산공정 모니터링, 제품 생산 이력 관리, 압력, 온도, 진동, 환경, 바이오(의료), 에너지 재생 등 다양한 산업분야에 적용되고 있음 ▪ 미세전자기계시스템기술은 기계·전기적기술을 이용한 마이크로크기의 초소형구조물로서, 나노/마이크로미터 크기의 전기적이면서도 기계적인 특성을 이용하여 전자, 기계, 의료 등의분야에 적용 가능 [ 미세전자기계시스템기술 적용 산업 ] 미세전자기계시스템7 (2) 필요성  미세전자기계시스템(MEMS)기술은 안전, 환경, 국방, 에너지, 바이오 등 다양한 분야에서 필요로 하고 있는 센서 및 엑츄에이터 제작이 요구되고 있음 ▪ 데이터 수집 및 처리를 가능하게 하기 위해 반도체, 패시브 및 인터커넥트 등 발전 중 ▪ 미세전자기계시스템(MEMS)기술은 시스템온칩(System on chip)및 고성능 통신 칩의 다양성, 초소형화를 가능하게 하는 핵심기술로써, 부가가치를 극대화하는 플랫폼기술임 ▪ IoT기반 스마트 홈, 스마트팩토리의 혁신생산시스템, 공장안전 비젼시스템 등에 필요한 핵심센서소자는 미세전자기계시스템으로 구성되어 활용되고 있음 ▪ MEMS는 그 외에도 많은분야에 적용되어 사용될 수 있는데 그중 하나가 구조 성형을 통한 에너지소자의 효과적인 성능향상에 있으며 이기술을 이용하여 현재 다양한 구조와 소재를 조합한 에너지 저장장치가 꾸준히 연구 개발되고 있음