반도체 소재/부품/장비 관련 특허 동향
1. 반도체 리페어 장비 분야
1) 특허출원 동향
(1) 해외 업체
가. 출원 동향
나. 해외 업체 심층분석
(2) 국내 업체
가. 출원 동향
나. 국내 업체 심층분석
2) 특허기반 기술이슈 도출
2. 반도체 CMP 장비 및 부품 분야
1) 특허출원 동향
(1) 해외 업체
가. 출원 동향
나. 해외 업체 심층분석
(2) 국내 업체
가. 출원 동향
나. 국내 업체 심층분석
2) 특허기반 기술이슈 도출
3. 반도체 증착 장비 및 부품 분야
1) 반도체 증착 장비와 부품
(1) 특허출원 동향
가. 해외 업체
나. 국내 업체
(2) 특허기반 기술이슈 도출
2) 터보식 펌프 분야
(1) 특허출원 동향
가. 해외 업체
나. 국내 업체
(2) 특허기반 기술이슈 도출
3) 반도체용 히터
(1) 특허출원 동향
목차3
가. 해외 업체
나. 국내 업체
(2) 특허기반 기술이슈 도출
4) 진공 펌프
(1) 특허출원 동향
가. 해외 업체
나. 국내 업체
(2) 특허기반 기술이슈 도출
5) MFC(Mass Flow Controller)
(1) 특허출원 동향
가. 해외 업체
나. 국내 업체
(2) 특허기반 기술이슈 도출
6) CVD(Chemical Vapor Deposition) 장비, 부품
(1) 특허출원 동향
가. 해외 업체
나. 국내 업체
(2) 특허기반 기술이슈 도출
4. 반도체 세정 장비 및 부품 분야
1) 반도체 세정 장비 및 부품
(1) 특허출원 동향
가. 해외 업체
나. 국내 업체
(2) 특허기반 기술이슈 도출
2) Single SPM(Sulfuric Peroxide Mixture) 세정 장비
(1) 특허출원 동향
가. 해외 업체
나. 국내 업체
(2) 특허기반 기술이슈 도출
5. 반도체 패키징 장비 및 부품 분야
1) 반도체 패키징 장비, 부품
(1) 특허출원 동향
가. 해외 업체
나. 국내 업체
(2) 특허기반 기술이슈 도출4
2) DIW(Deionized Water)-CO2 GENERATOR
(1) 특허출원 동향
가. 해외 업체
나. 국내 업체
(2) 특허기반 기술이슈 도출
3) 웨이퍼 절단 장비
(1) 특허출원 동향
가. 해외 업체
나. 국내 업체
(2) 특허기반 기술이슈 도출
6. 반도체 측정/분석/검사 장비 및 부품 분야
1) 반도체 측정/분석/검사 장비, 부품
(1) 특허출원 동향
가. 해외 업체
나. 국내 업체
(2) 특허기반 기술이슈 도출
2) 2차원, 3차원 측정기
(1) 특허출원 동향
가. 해외 업체
나. 국내 업체
(2) 특허기반 기술이슈 도출
3) Bare Wafer 평탄도 검사장비
(1) 특허출원 동향
가. 해외 업체
나. 국내 업체
(2) 특허기반 기술이슈 도출
4) 반도체 테스터
(1) 특허출원 동향
가. 해외 업체
나. 국내 업체
(2) 특허기반 기술이슈 도출
7. 고성능 반도체 패턴용 공정 소재 분야
1) 고성능 반도체 패턴용 공정 소재
(1) 특허출원 동향
가. 해외 업체5
나. 국내 업체
(2) 특허기반 기술이슈 도출
2) EUV Photoresist용 Rinse
(1) 특허출원 동향
가. 해외 업체
나. 국내 업체
(2) 특허기반 기술이슈 도출
3) EUV 포토레지스트
(1) 특허출원 동향
가. 해외 업체
나. 국내 업체
(2) 특허기반 기술이슈 도출
4) 광개시제
(1) 특허출원 동향
가. 해외 업체
나. 국내 업체
(2) 특허기반 기술이슈 도출
8. 반도체 식각공정 부품 분야
1) Boron-SiC Edge Ring
(1) 특허출원 동향
가. 해외 업체
나. 국내 업체
(2) 특허기반 기술이슈 도출
2) 정전척
(1) 특허출원 동향
가. 해외 업체
나. 국내 업체
(2) 특허기반 기술이슈 도출
9. 반도체 노광 공정/장치 분야
1) 반도체 노광 장치
(1) 특허출원 동향
가. 해외 업체
나. 국내 업체
(2) 특허기반 기술이슈 도출
2) EUV 블랭크 마스크6
(1) 특허출원 동향
가. 해외 업체
나. 국내 업체
(2) 특허기반 기술이슈 도출
3) 리소그래피 - Mask Writer
(1) 특허출원 동향
가. 해외 업체
나. 국내 업체
(2) 특허기반 기술이슈 도출
10. 실리콘 웨이퍼 분야
1) 특허출원 동향
(1) 해외 업체
가. 출원 동향
나. 해외 업체 심층분석
(2) 국내 업체
가. 출원 동향
나. 국내 업체 심층분석
2) 특허기반 기술이슈 도출
11. 반도체용 특수가스 분야
1) 반도체용 특수가스류[11BF3, CHF3, CO, CO2, Kr, Xe]
(1) 특허출원 동향
가. 해외 업체
나. 국내 업체
(2) 특허기반 기술이슈 도출
2) TDMAS 소재
(1) 특허출원 동향
가. 해외 업체
나. 국내 업체
(2) 특허기반 기술이슈 도출
3) 초고순도 불화수소
(1) 특허출원 동향
가. 해외 업체
나. 국내 업체
(2) 특허기반 기술이슈 도출
12. 전력 반도체(Power IC) 분야7
1) 전력 반도체(Power IC)
(1) 특허출원 동향
가. 해외 업체
나. 국내 업체
(2) 특허기반 기술이슈 도출
2) 레귤레이터 IC
(1) 특허출원 동향
가. 해외 업체
나. 국내 업체
(2) 특허기반 기술이슈 도출
13. 반도체 후공정 패키징 장비 분야
1) 특허출원 동향
2) 국내외 주요 출원인 분석
(1) 해외 업체
(2) 국내 업체
3) 기술 집중력 및 특허소송 동향
4) 특허기반 요소기술 도출
14. 반도체 후공정/PCB 노광장비 분야
1) 특허출원 동향
2) 국내외 주요 출원인 분석
(1) 해외 업체
(2) 국내 업체
3) 기술 집중력 및 특허소송 동향
4) 특허기반 요소기술 도출
15. 반도체 후공정 측정/검사 장비 분야
1) 특허출원 동향
2) 국내외 주요 출원인 분석
(1) 해외 업체
(2) 국내 업체
3) 기술 집중력 및 특허소송 동향
4) 특허기반 요소기술 도출
16. 반도체 이송 장비 분야
1) 특허출원 동향
2) 국내외 주요 출원인 분석
(1) 해외 업체8
(2) 국내 업체
3) 기술 집중력 및 특허소송 동향
4) 특허기반 요소기술 도출